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Sonderanlagen

atp GmbH entwickelt und fertigt kundenspezifische Sonderanlagen und Prozesssysteme für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Forschung und weiteren High-Tech-Bereichen. Auf Basis unserer Erfahrung im Nassprozess- und Prozessanlagenbau realisieren wir individuelle Lösungen, die exakt auf die jeweiligen Produktions- und Prozessanforderungen abgestimmt sind.

Unser Leistungsspektrum im Sonderanlagenbau umfasst unter anderem:

  • Tube Cleaner zur Reinigung von Quarzrohren
  • kundenspezifische Nassprozess- und Reinigungsanlagen
  • Anlagen zur Neutralisation und Filtration chemischer Abwässer
  • Prozesslösungen für CMP-Abwässer
  • spezialisierte Anlagen für Oberflächenbehandlung und nasschemische Prozesse
  • Integration von Chemieversorgung, Medienversorgung und Prozessautomatisierung

Von der Planung und Konstruktion über die Fertigung und Automatisierung bis zur Inbetriebnahme entwickelt atp ganzheitliche Sonderanlagen für spezifische Prozessanforderungen.

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