Nassprozessanlagen
Ob für Labor, Entwicklung oder Produktion – wir fertigen manuelle Nassbänke und halbautomatisierte Anlagen individuell nach Kundenwunsch.
Bereits in der Planungsphase berücksichtigen wir alle relevanten Einflussfaktoren wie Chemikalienauswahl, Anlagenlayout und Automatisierungsgrad, um ein präzise abgestimmtes, leistungsstarkes System zu realisieren.
Unsere modularen Einheiten ermöglichen sowohl Batch- als auch Einzelwafer-Prozesse und sorgen für maximale Flexibilität bei unterschiedlichsten Prozessanforderungen.
Manuelle Nassprozessanlagen
Flexible Lösungen für Forschung & Entwicklung
Unsere manuell betriebenen Nassprozessanlagen kommen bevorzugt in Forschung, Entwicklung und Kleinserienfertigung zum Einsatz – insbesondere in Instituten und industriellen Laborumgebungen. Sie bieten maximale Flexibilität für vielfältige Prozessanforderungen und sind ideal für anwendungsspezifische Testreihen und Versuchsanordnungen eingesetzt.
Halbautomatische Front-End-Reinigungsanlage
Effiziente Prozesse durch Teilautomatisierung
Die halbautomatischen Systeme von atp GmbH werden für anspruchsvolle Ätz- und Reinigungsprozesse eingesetzt – unter anderem in der Halbleiterfertigung, der medizinischen Technologie sowie der Solarzellenproduktion. Sie verbinden reproduzierbare Prozessführung mit einem hohen Maß an Automatisierung und Effizienz.
Laborabzüge
Laborabzüge für präzise Grundlagenforschung
Unsere Laborabzüge werden speziell für Reinraum- und Laborbereiche in Instituten und Forschungseinrichtungen konzipiert.
Ausgestattet mit individuell geplanten Komponenten und Beckeneinbauten, ermöglichen sie grundlegende Prozessversuche zur Validierung und Entwicklung zukünftiger Serienprozesse – präzise, sicher und praxisnah.
KONTAKT
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