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Trocknungssyteme

Einen hohen Qualitätsstandard bei der Trocknung von Wafern bezüglich Oberflächengüte und Partikelarmut ermöglicht der von atp GmbH gefertigte IPA Trockner. Eingesetzt als stand-alone Einheit können Wafer bis zu einer Größe von 8“ getrocknet werden. Im Rahmen der Refurbishment-Aktivitäten bei atp GmbH werden sogenannte legacy-tools, (insbesondere SAT- und SST-Anlagen) neu aufgebaut und mit einer optimierten Steuerung und Visualisierung versehen. SAT Tools sind kombinierte Sprühanlagen für Ätz- bzw. Reinigungsaufgaben und werden eingesetzt für das Entfernen von z.B. Oxidschichten, Strippen von Fotoresist und mehrstufigen Oberflächenreinigungsprozessen (RCA-Cleaning).

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